厉害了！国内首条8英寸“超越摩尔”中试线上午启动

图说：国内首条，全球领先，兼容CMOS的8英寸“超越摩尔”研发中试线在上海嘉定正式启动。来源/马亚宁 摄

新民晚报讯（记者 马亚宁）今天上午，国内首条，全球领先，兼容CMOS的8英寸“超越摩尔”研发中试线在上海嘉定正式启动。由上海微技术工业研究院构建的这条有望影响中国半导体产业发展的中试线，旨在打造中国完整的“超越摩尔”产业链基础上，进一步推动中国“超越摩尔”技术和物联网创新应用快速发展，引领全球。

 日常生活中，我们每时每刻都被一种名叫传感器的“隐形者”包围着。仅以形影不离的智能手机为例，其内部就装载了加速度计、MEMS麦克风、指纹识别等二三十个传感器。在智能硬件、工业制造、健康医疗、车联网等诸多领域，传感器都有广阔的应用空间。近年来国内传感器市场年均增速超过20%，市场规模超千亿元。

目前，全球传感器市场主要由美国、日本等几家龙头企业主导。国外半导体巨头遵循着英特尔创始人之一戈登·摩尔提出的“摩尔定律”狂飙突进，即集成电路上可容纳的元器件数目每隔18至24个月会增加一倍，性能随之提升一倍，技术创新一路领先。中国企业一路追随，但始终难以望其项背——中国八成以上传感器依赖进口。核心技术尚未突破、纠缠于低端竞争等因素，长期制约着国内传感器产业的发展。

那么，我们有没有可能甩掉“摩尔定律”，实现弯道超车呢？据估算，“摩尔定律”技术路线的投资量级是百亿美元，而“超越摩尔”技术路线的投资量级仅为亿美元，且产品种类丰富。遵循这一思路，2013年，聚焦“超越摩尔”领域的上海微技术工业研究院成立，其使命是助力上海在传感器等新兴领域有所突破。

 纵观我国超越摩尔领域现状，虽经历多年的理论研究与技术验证，但在实际应用时，往往与生产平台脱节。这都是源于微机电系统产品研发涉及的技术链条较长，且其“非标”特性使得它的研发与创新需要和产线有一段比较长的磨合期，对生产线“严重依赖”。

而中试就是必经阶段，也是国内传感器厂家共同面临的挑战。据统计，科技成果经过中试，产业化成功率可达80%，未经中试成功率仅有30%。基于此，作为到2020年上海市将培育30家研发与转化功能型平台中的“首发阵容”，也是上海科创中心建设“四梁八柱”中的重要节点之一，上海微技术工业研究院将“超越摩尔”8英寸研发中试线，作为其瞄准具有全球影响力科技创新的发力点，争取在这一领域与国际领先水平并行。

 在“超越摩尔”领域，目前业界还普遍使用6英寸产线，工研院为何选择8英寸？据介绍，8英寸是目前国际“超越摩尔”领域公认的领先技术，应该说是“弯道超车”的最佳选择。落地上海嘉定工业区，近5,000平方米的高等级微纳加工超净厂房内，工研院与国际领先的晶圆厂密切合作构建的8英寸“超越摩尔”研发中试线，不仅实现了从研发到量产的无缝衔接，更丰富完整了国内的超越摩尔生态链，是对标国际产业竞争的关键一环。

据悉，8英寸研发中试线将专注于“超越摩尔”传感器产品技术的开发，可以全面开展表面、体、3D微纳加工以及新工艺、新器件、新系统的研发，并根据“超越摩尔”产品技术特点部署了MEMS、3D集成、MR磁传感、功率及生物等相关工艺和量测设备，可承担产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务，为企业走通从实验室到市场化的“最后一公里”搭建平台，助力 “超越摩尔”产品和技术从研发到量产的无缝衔接。

与此同时，上海微技术工业研究院联合国家集成电路产业投资基金等产业资本，共同设立“超越摩尔”产业基金，建立了“超越摩尔”领域的孵化器和加速器。上海微技术工业研究院还在美国硅谷、台湾新竹、法国格勒诺布尔等地设有办公室及研发中心，在全球范围内布局创新网络，真正营造“超越摩尔”产业创新生态。