上海市科技功臣奖 | 材料学家王曦院士 创新、实干 推动微电子产业发展

图说：2017年度上海市科技功臣奖王曦院士 来源/受访者供图

　　 王曦：中国科学院院士，中共党员，中国科学院上海微系统与信息技术研究所所长、著名材料学家，我国高端集成电路衬底材料的主要开拓者和领军人物。长期致力于载能离子束与固体相互作用物理现象研究，并将其应用于SOI的开发。王曦院士大力推动了全国和上海一大批极大规模集成电路重大项目，其中12寸集成电路硅片项目填补了我国大尺寸硅片产业空白。

　　 “做科学家，必须把自己的研究与国家的战略需要联系起来，布大局，做大事。”这是王曦经常挂在嘴边的一句话。

　　 从开发SOI解决我国急需的航天电子器件的“有无”，到完成12英寸集成电路硅片项目、填补我国大尺寸硅片产业空白，王曦是微电子材料的“弄潮儿”。

　　 近年来，王曦院士先后获得国家科技进步一等奖、上海市科技进步一等奖、中国科学院杰出科技成就奖……他还曾“一次性评选过关”，成为“当年最年轻的中科院院士”。同事好友对王曦此次评为上海市科技功臣奖，都说“实至名归”。

　　 有创新精神的科学家

　　 1983年，王曦考入清华大学，从那时起，他就在载能离子束领域耕耘不辍。那时，一种名叫绝缘体上硅（SOI）的技术被IBM公司商业化，广泛用于超速计算机服务器中。这在国际上被公认为“二十一世纪的硅集成电路技术”，在低压低功耗电路、耐高温电路、微机械传感器、光电集成等方面有着重要应用，在国内却因遭遇技术封锁鲜为人知。1998年回国的王曦承担起了研究SOI技术的领军重任。

　　 “SOI有很多应用，在航天器的元器件上尤为突出。在我国没掌握SOI技术的时候，只能采用加厚铅板这种‘治标不治本’的方法来应对辐射。”王曦说。然而，卫星每增加一点重量，成本就会大幅提升。“那时我们卫星少，寿命也短。”想要一劳永逸解决这一难题，SOI的研发势在必行。

　　 SOI走出论文、走出实验室的每一步都凝聚着王曦团队的汗水。2001年7月，王曦创建了我国唯一的SOI材料研发和生产基地——上海新傲科技股份有限公司。仅用5个多月的时间，就建成了国内第一条具有国际先进水平的SOI生产线。次年7月，第一批光润无瑕、晶莹剔透的SOI晶圆材料问世。世界惊呼，中国“突然”出现了一个现代化的SOI工厂。

　　 在创新路上，王曦的脚步从未停下。作为国家科技重大专项02专项技术副总师，王曦大力推动了全国和上海一批集成电路重大项目，其中12寸集成电路硅片项目填补了我国大尺寸硅片的产业空白。王曦还带领团队开发特种工艺技术，实现高可靠SOI晶圆，并研制高可靠集成电路芯片，满足其在特殊环境下的应用需求，实现我国相关领域关键元器件的自主可控。

　　 有战略眼光的实干家

　　 在推进国家集成电路重大项目的过程中，王曦清楚地认识到，我国目前在世界级集成电路研发机构建设上与国外差距较大，产业创新能力不强，难以产出有核心竞争力的技术与产品。2012年，王曦向市领导递交了MtM计划，希望通过借鉴国外实验室的创新模式，推动中国集成电路研发机构对产业的作用。次年，上海微技术工业研究院在嘉定注册成立，以企业化运作打造功能性平台。这一跨越产研“鸿沟”的平台成为了上海全球科创中心“四梁八柱”之一。去年9月，国内首条全球领先的8英寸“超越摩尔”研发中试线正式运营。由上海微技术工业研究院构建的这条中试线，旨在打通从研发到小批量生产的超越摩尔产业生态链布局，助攻创新研发。

　　 当老牌的法国Soitec公司主要向格芯等芯片制造公司提供SOI时，王曦已把目光投向汽车电子、传感器等SOI硅片的新应用领域。2014年，王曦再次提出，希望发展12寸英寸硅片。当时在外界看来，这是个“吃力不讨好”的活儿，王曦自己也为5亿元的融资“跑断了腿”。时过境迁，现今全球硅片紧张，硅片价格一涨再涨，当时冒险的决定已经变成了正确的选择。未来，王曦希望与世界一流技术接轨，早日进入全球第一方阵。

　　 在中科院上海微系统与信息技术研究所所长助理秦曦的记忆里，王曦很有战略眼光，“在重大决策上，王所长很尊重专家的意见，他市场化意识很强，多次以独到的眼光拍板收购国内外硅片企业。”

       有情怀的领导者

　　 去年9月26日，张江实验室成立，开启了上海科创中心建设的崭新篇章。王曦院士担任张江实验室主任。在他心里，一直有一个梦想，让科学家在一个平台上心无旁骛做科研，不用为争取项目而分心。

　　 张江实验室给了王曦实现这个梦想的机会，然而，落在王曦身上的担子可不轻。在五个多月的时间里，张江实验室在大科学设施群建设、体制机制创新、创新合作网络构建等方面取得了不少突破。现在，王曦上紧了发条，他正进一步完善张江实验室的组建方案，争取首批获批列入国家实验室行列。王曦说，将面向全球吸引和选拔高端优秀人才，组建高水平科研团队和专业的管理团队。依托张江实验室启动“硅光”“硬线预研”以及“类脑智能”等上海市市级科技重大专项，尽快提升张江实验室的集中度和显示度。近日，张江实验室与法国国家实验室签约，其发展步入“快车道”。

　　 采访中，王曦多次提到，真正的高科技项目要实现产业化，离不开科学家的参与。“实验室的成功和一项技术的应用之间不能画等号。希望未来能够更多用市场化的规则来解决国家战略需求。”

　　 新民晚报见习记者 郜阳