神奇微纳之旅 体验未来世界

图说：微纳世界，趣味探索 新民晚报记者 孙中钦 摄（下同）

新民晚报讯（通讯员 皎轩 记者 易蓉）科学家们不仅有上天入地的宏大计划，同时他们也一直在极其微小的世界探索。想知道我们生活中的集成电路芯片、LED照明、液晶显示、喷墨打印机、安全气囊和手机照相机里都有些什么吗？想知道一粒粒小小的石英砂如何走上奇妙的“点石成金”之旅的吗？想知道微米、纳米有多么小吗？想了解科学家如何实现微米、纳米尺度的加工吗？昨日，上海交通大学高精尖实验室——先进电子材料与器件校级平台（“AEMD平台”）掀开神秘面纱，首次以本市中小学生为主要活动对象向300多名参观者开放。大家在趣味探索中，进行了一场神奇的微纳世界之旅。

活动以一场围绕“走近微纳、体验未来”为主题的科普讲座开场，由AEMD平台常务副主任、上海交通大学电子信息与电气工程学院教授程秀兰主讲，程秀兰从生活中常见的不同尺寸物体入手，大到宇宙，小到碳原子，深入浅出地介绍了身边的微米纳米世界和自然界中的微米纳米结构。然后又通过介绍半导体行业的发展，讲述了微纳加工技术如何改变着身边物、牵动着热点事。其中集成电路的发明与发展，摩尔定律对半导体行业发展的神奇预言，给听众留下了深刻印象。此外，简明扼要的加工工艺介绍更是为参观者们拨开了现代芯片加工的神秘面纱，带领大家一起领略了微纳加工的神奇创造力及巨大潜力。

图说：科普讲座现场

参观者们通过平台工作人员的引导解说，实地参观洁净室厂务系统、了解纯水、电力的作用；进入洁净室控制中心，一览洁净室的实际运作方式。大家还亲自动手操作光学显微镜、3D数码显微镜等测试设备，观察领略微米世界的精彩；还通过参观扫描电子显微镜实验过程，体验纳米世界的神奇。在洁净室里，前来参观的中小学生兴奋地说，一直很好奇芯片是怎么加工的，这次终于有机会走进专业的洁净室，亲眼看到这些能制作出几纳米芯片的高精尖仪器是如何运作简直神奇。

上海交通大学AEMD平台是上海交通大学“十二五”期间由“985”三期重点投入建设的专业提供微纳加工服务的校级公共平台。平台坐落于上海交大闵行校区微电子大楼内，拥有一条面向硅、玻璃、有机基底的能向下完全兼容的6英寸半导体级微纳加工实验线、一条3英寸非硅微纳加工实验线和一个光电材料与器件实验室，能实现8nm以上微纳米图形的加工；平台现拥有100-1000级洁净室1510平米。平台加工与测试设备总价值约9300余万元。工艺能力涵盖光刻、氧化扩散、湿法清洗与刻蚀、物理气相沉积、化学气相沉积及干法刻蚀、结构与器件特性表征等全微纳加工工艺链，同时具备最先进的电子束光刻、聚焦离子束沉积与加工、深硅刻蚀等工艺能力。此次科技节开放日活动是AEMD平台成立八年来首次面向公众开放。