【科创争先锋】不断挑战顶尖『光刻』技艺

图说：上海微电子装备（集团）股份有限公司董事长兼总经理贺荣明

在浦东张江一间硕大的超净室里，停放着十几台国内独一无二的“大家伙”——光刻机。随着信息产业的迅猛发展，我们每个人时时刻刻都在带“芯”生活——手机、平板电脑等移动终端都离不开高精密的集成电路。而光刻机正是半导体芯片制造业中的最核心设备。十几年前，全世界能生产此类光刻机整机的只有荷兰和日本的3家公司。如今，位于浦东张江的上海微电子装备（集团）股份有限公司让中国也加入了先进制造业巅峰的“国际俱乐部”。而中国光刻机“十年磨一剑”的领军人，正是公司董事长兼总经理贺荣明。

“不搞光刻机，就不知道我们的精密制造工业与发达国家差距有多大。”尽管贺荣明深知中国在该领域基础薄弱，但当他投身光刻机行业后，还是被深深的刺痛了。公司成立之初，他去德国谈技术合作，德国工程师扔下一句，“就是给你们全套图纸，你们也做不出来！”。这让他狠下决心，一定要搞出中国自己的光刻机。

基础太薄弱，怎么办？贺荣明找到了一条路径：培养本土人才。15年前的国内高校，缺乏与光刻机相关的专业。然而短短几年内，上微公司就与全国数家高等院校建立了合作关系，联合培养硕士生、博士生，让这些年轻人在校期间就走进上微，构想国产光刻机的研发蓝图。

在培养本土人才的同时，贺荣明另辟蹊径，打破中国科技企业不够自信的“怪圈”——勇敢走出去，利用全球资源、实施知识产权战略。公司组建了一支海外团队，他们大多是快退休的国外光刻机技术专家，具有丰富的经验，经常来沪指导年轻的中国同行。由于光刻机系统太大、太复杂，公司不再遵循“点上突破”的传统专利思路，而是要做好专利架构的顶层设计。2006年起，公司从紧张的研发经费中拨出一块，组建了一支专门研究专利的团队。

如今，“去美国和几家制造精密传感器、控制器和光学仪器的企业老总交流，美国人看到我们公司的技术，很惊叹。”贺荣明的言语中透着自信。这份自信，很大程度上源于响当当的专利“家底”。公司成立至今，已申请专利总数共计2141项，其中申请中国发明专利1668项，申请国外发明专利257项。贺荣明带领着中国光刻机团队在微观世界里，不断挑战顶尖的“光刻”技艺。

1961年出生的贺荣明告诉记者，回顾自己的职业生涯，几乎与改革开放共脉搏；第一阶段同样是“引进期”。1985年从同济大学机械工程管理系毕业后，他进入原上海机电工业管理局，从事国外技术的引进工作，但发觉总赶不上国外设备的更新换代；第二阶段是从1990年开始的“合资期”。那时的他转入企业，与许多外国企业谈合作，用中国巨大的市场换先进技术，但核心技术仍被外国企业攥在手里。终于明白先进技术永远是买不来，他一头扎进了“自主创新期”——2002年受命组建上海微电子装备公司，开启了一段艰难而辉煌的创新历程。

见证了中国“光刻机”从无到有，与中国先进制造业发展共成长的贺荣明，十五年如一日， “我基本每天7点多就到公司，晚上9、10点才离开，我们的员工还在加班，我要给他们点亮一盏灯。” 他说，“如今国家对自主创新的支持力度史无前例，我们一定要珍惜这个时代。”

       新民晚报记者 马亚宁